Dieses Buch untersucht das Grundprinzip des Designs von Vorläufermolekülen für CVD Prozesse. Der Effekt von molekularen Eigenschaften dieser Moleküle auf den CVD Prozess wird sowohl experimentell als auch theoretisch erforscht. Eine neuartige Klasse von Liganden und resultierenden Komplexen wird als Beispiel für maßgeschneiderte Vorläufermoleküle für CVD Prozesse demonstriert. Haupteigenschaften wie z.B. thermische Zersetzung und Flüchtigkeit können unabhängig eingestellt werden und auf den indiviuellen CVD Prozess abgestimmt werden.
This book examines the rationale of precursor design for a CVD (Chemical Vapor Deposition) process. The effect of molecular properties on the CVD process outcome is investigated experimentally and computationally. A novel class of ligands and resulting complexes is demonstrated as an example of tailormade precursors for CVD processes. Key properties such as thermal decomposition and volatility are shown to be independently tunable and can be adjusted to the individual process needs
This book examines the rationale of precursor design for a CVD (Chemical
Vapor Deposition) process. The effect of molecular properties on the CVD
process outcome is investigated experimentally and computationally. A novel
class of ligands and resulting complexes is demonstrated as an example
of tailormade precursors for CVD processes. Key properties such as thermal
decomposition and volatility are shown to be independently tunable and
can be adjusted to the individual process needs. Dieses Buch untersucht
das Grundprinzip des Designs von Vorläufermolekülen für CVD Prozesse. Der
Effekt von molekularen Eigenschaften dieser Moleküle auf den CVD Prozess
wird sowohl experimentell als auch theoretisch erforscht. Eine neuartige
Klasse von Liganden und resultierenden Komplexen wird als Beispiel für
maßgeschneiderte Vorläufermoleküle für CVD Prozesse demonstriert. Haupteigenschaften
wie z.B. thermische Zersetzung und Flüchtigkeit können unabhängig eingestellt
werden und auf den individuellen CVD Prozess abgestimmt werden.
